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高纯气体管道安装对材质有什么要求

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发表于 2018-3-16 17:19:34 | 显示全部楼层 |阅读模式
  高纯度气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU),为了达到仪器对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。下面就来为大家进行介绍。



  对输送高纯气体管道而言,其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、抗腐蚀性。


  气体渗透性
  不同材料对氧的渗透性材料大气中氧气的渗透(ppm)不锈钢管 O铜管 O聚丙烯管 1l聚四氟乙烯管 12普通钢管 203从表看到,对于输送ppm级及更高纯度要求的气体,从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管,如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料,那么,无论我们采取什么净化手段,都将是无济于事的。


  出气速率
  材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质,如氮、碳氢化合物等,在高纯气体输送过程中,这些杂质会缓慢地释放出来,污染高纯气体,尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。


  吸附性
  由于水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,使用这些材料输送高纯气体易被污染,除了输送ppm级以下的氧气会使用紫铜管外,高纯气体都不采用铜管和塑料管,气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。


  表面粗糙度和耐磨性
  为了确保输送的气体纯净度,要求管道材料内表面有一个极高的光洁度,这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留,可以在吹扫时比较容易吹净。管材比较光洁而且耐磨,可以在气流高速冲刷下,产生的金属粒子就少,不锈钢比铜管产生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。


  抗腐蚀性
  微电子生产中,经常使用一些腐蚀性很强的气体,这时必须采用耐腐蚀的管材,否则管道会被腐蚀,轻则表面产生锈斑,重则管道大面积剥落、穿孔,不但污染气体,还会发生安全事故。


  以上就是为大家介绍的有关高纯气体管道安装对配管和材质有什么要求的分析,希望可以给大家提供参考。通过以上的分析,大家应该知道了如何对高纯气体管道的材质要求。


  气体减压阀的特点、安装和维护的注意事项

  气体减压阀通过调节调节弹簧压力设定出口压力,利用膜片传感出口压力变化,通过导阀启闭驱动活塞调节主阀节流部位过流面积的大小,实现减压稳压功能。
  气体减压阀是采用控制阀体内的启闭件的开度来调节介质的流量,将介质的压力降低,同时借助阀后压力的作用调节启闭件的开度,使阀后压力保持在一定范围内,并在阀体内或阀后喷入冷却水,将介质的温度降低,这种阀门称为减压减温阀。
  气体减压阀的特点,是在进口压力不断变化的情况下,保持出口听压力和温度值在一定的范围内。气体减压阀是气动调节阀的一个必备配件,主要作用是将气源的压力减压并稳定到一个定值,以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制。


  气体减压阀的安装和维护应注意以下事项:
  1、为了操作和维护方便,气体减压阀一般直立安装在水平管道上。
  2、安装时应注意使管路中介质的流向与阀休上所示箭头的方向一致。
  3、为了防止阀后压力超压,应在离阀出口不少于4M处安装一个气体减压阀。


  深圳普莱斯特科技有限公司是一家专业从事高纯度/特气供气系统、各种实验室研究所供气系统、气体管道工程 、安装调试服务于一体的高新技术企业,服务热线:18666824309。http://www.chinapulsst.com/


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